終着点であり
出発点

データで知る流体研磨の技術

品質安定の指標 粗さパラメーターについて

最大高さ Rzとは

粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけを抜き取り、この抜取り部分の山頂線と谷底線との間隔を粗さ曲線の縦倍率の方向に測定し、この値をマイクロメートル (μm)で表したものです。
もっとも高い部分(最大山高さ:Rp)ともっとも深い部分(最大谷深さ:Rv)の和の値で求めたもの。

最大高さ Rz
算術平均粗さ Raとは

粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけを抜き取り、この抜取り部分の平均線の方向にX軸を、縦倍率の方向にY軸を取り、粗さ曲線をy=f(χ)で表したときに、次の式によって求められる値をマイクロメートル(μm)で表したものです。
凹凸状態を平均値で表したもの。

算術平均粗さRa

鏡面仕上げ

  • 一般的に求められる鏡面とはRa値0.1μmです。
  • 『 アルゴヴィジョンが考える鏡面仕上げは超鏡面仕上げです。 』
流体研磨におけるRa値の改善(鏡面仕上げについて)

Rp(基準長さにおいて、表面の粗さ曲線の中での最大の山の高さ)を削るだけではRvが残っているため、Ra値は思うように改善されません。

Rpを研磨

Rv(基準長さにおいて、表面の粗さ曲線の中での最大の谷の深さ)まで削ること、Rzを無くすことでRa値が改善され超鏡面仕上げが達成します。

Rvまで研磨


KEYENCE測定レポート

インテリジェント流体研磨前後 内面粗さ評価データ

  • ●素材
  • 1. SUS304( Φ0.3パイプ )

使用機器

  • ●測定機 : KEYENCE VK-X3000
  • ●方式 : レーザー
  • ●分解能 : 0.01 nm
1-Before. SUS304 原材料(研磨前)
計測値Ra:1.478μm Rz:9.676μm
Φ0.3原材料データ

1-After. SUS304 インテリジェント流体研磨実施後
計測値Ra:0.070μm Rz:0.519μm
Φ0.3研磨後データ

《計測値比較》

Ra:1.478μm → Ra:0.070μm
Rz:9.676μm → Rz:0.519μm

研磨レポートグラフ


ZYGO Newview9000測定レポート

インテリジェント流体研磨前後 内面粗さ評価データ

  • ●素材
  • 1. SUS316L( セミシームレスパイプ )

使用機器

  • ●測定機 : ZYGO Newview9000
  • ●方式 : 白色干渉
  • ●測定時間 : 5 秒
  • ●分解能 : 0.1 nm
使用機器
1-Before. SUS316L 原材料(研磨前)

《粗さ評価》
Ra:24.690nm = 0.024μm(マイクロメートル変換) 

粗さ評価
1-After. SUS316L インテリジェント流体研磨後

《粗さ評価》
Ra:9.723nm = 0.009μm(マイクロメートル変換) 

流体研磨後粗さ評価